積體電路業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率95.6%

製程用水：

50. 純水系統
50. 製程機台

自來水+純水系統排水回收(c1)+製程水處理回收利用(c3)

50. 純水系統排水回收(c1)：UPW ROR to FWT tank，回收 1,624 CMD
50. 純水系統排水回收(c2)：UPW DIR to RCW tank、UPW ROR to RCW tank 回收 1,325 CMD
50. 製程水處理回收利用(c3)：UPW DIR to FWT tank 2^nd UF Reject to FWT Tank，回收 10,097 CMD
50. 製程水處理回收利用(c4)：Reclaim system Permeate to RCW tank、AOR system return to RCW tank，回收 6,561 CMD

次要

冷卻水塔

自來水+製程系統排水回收(c4)

50. C/T濃排水回收利用(c6)：旁濾設備回收 77 CMD
50. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：112.7 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：1,800(µS/cm)，濃縮倍數(CR)：15.9倍。

廢氣洗滌塔

製程系統排水回收(c4)

50. L/S+C/S排水循環回收利用(c5)：LSR Permeate to Local Scrubber user point，回收 4,365 CMD。
50. pH值控制

其他

民生及公共用水

自來水+雨水

省水裝置使用率 68%

光電業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率80.3%

製程用水：

50. 純水系統
50. 製程機台

自來水+純水系統排水回收(c1)

50. 純水系統排水回收(c1)：純水ROR產水+UF排水回收+儀器排水回收+再生反洗水回收  723 CMD
50. 純水系統排水回收(c2)：純水前段UF反洗水回收  750 CMD
50. 製程水處理回收利用(c3)：高TOC，由MBR系統回收

次要

冷卻水塔

純水系統排水回收(c2)

50. C/T濃排水回收利用(c6)：旁濾排水回收 18 CMD
50. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：553 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：2,200(µS/cm)，濃縮倍數(CR)：3.97 倍。回收 129 CMD。

廢氣洗滌塔

純水系統排水回收(c2)

50. pH值控制
50. ORP(氧化還原電位)控制

其他

民生及公共用水

自來水+回收水(沖廁)

省水裝置使用率：NA。(節流裝置省水，無省水標章)

光電業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率56.7%

製程用水：

50. 純水系統
50. 製程機台

自來水+純水系統排水回收(c1)

50. 純水系統排水回收(c1)：RO濃縮水供砂濾塔、活性碳塔、樹脂塔逆洗及再生廢水，導電度判定回收RO濃縮水回收 66 CMD
50. 純水系統排水回收(c2)：砂濾塔、活性碳塔、樹脂塔逆洗及再生廢水，導電度判定回收RO濃縮水回收 24 CMD
50. 製程水處理回收利用(c4)：製程廢水系統回收至次級用水 401 CMD

次要

冷卻水塔

自來水+OAC冷凝水(A1)+雨水(A2)+純水系統排水回收(c2)+製程系統排水回收(c4)

50. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：<90 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：1,900 (µS/cm)，濃縮倍數(CR)：21 倍。循環回收 12 CMD。
50. 散水盤護蓋遮蔽，減少日照損失及灰塵阻塞水盤，導致不必要的溢流情況。

廢氣洗滌塔

自來水+OAC冷凝水(A1)+雨水(A2)+純水系統排水回收(c2)+製程系統排水回收(c4)

50. L/S+C/S排水循環回收利用(c5)：設置氨氮廢水處理設備，採氣提法及冷凝回收的設備處理流程，處理後回收水再迴流至廢氣回收設備重複使用取代大量洗滌耗水，循環回收 196 CMD。
50. pH值控制

其他

民生及公共用水

自來水+雨水

省水裝置使用率 100%

通訊業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率

41%

製程用水：

50. 純水系統
50. 製程機台

自來水+純水系統排水回收(c1)

50. 純水系統排水回收(c1)：UPW系統2B3T再生清洗水& MMF/ACF逆洗水 回收至製程水池做為原水回收 12 CMD
50. 純水系統排水回收(c2)：UPW系統RO濃排水回收做為2B3T再生清洗水回收 9 CMD
50. 製程水處理回收利用(c4)：配置機台QDR回收專管，清洗晶圓之去離子水進行回收，再透過水質選別功能，供給CT/民生沖廁使用。回收 35  CMD。

次要

冷卻水塔

自來水+純水系統排水回收(c2)+製程系統排水回收(c4)

50. C/T濃排水回收利用(c6)：旁濾排水回收 6 CMD
50. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：400 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：1,600(µS/cm)，濃縮倍數(CR)：4倍。回收 2 CMD。

廢氣洗滌塔

自來水+OAC冷凝水(A1)

pH值控制

其他

民生及公共用水

自來水+製程系統排水回收(c4)

省水裝置使用率 NA

積體電路業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率80.5%

製程用水：

50. 純水系統
50. 製程機台

自來水+純水系統排水回收(c1)+製程水處理回收利用(c3)

50. 純水系統排水回收(c1)：DI 系統再生反洗水經過濾後再利用、樹酯更換 rinse 水再利用、RO 濃縮水部分回至工業水池利用，回收 2,074 CMD
50. 純水系統排水回收(c2)：DI RO 濃縮水供應空調系統、洗滌塔與製程冷卻水等次級用水 770 CMD
50. 製程水處理回收利用(c3)：DIR 50%系統處理後供應 DI 水回收、DIR 35% 回收處理系統供應 DIR 50%，回收 2,113 CMD
50. 製程水處理回收利用(c4)：AWR製程端鹼性廢水、CuCMP製程含銅廢水，回收3,105 CMD

次要

冷卻水塔

自來水+製程系統排水回收(c4)

50. C/T濃排水回收利用(c6)：旁濾設備回收+Q WATER RO 過濾再利用 58 CMD
50. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：200 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：2,200(µS/cm)，濃縮倍數(CR)：11倍。回收 175 CMD。

廢氣洗滌塔

製程系統排水回收(c4)

50. L/S+C/S排水循環回收利用(c5)：回收廢氣洗滌塔排放廢水循環利用，回收 6,816 CMD。
50. pH值控制
50. 縮減(定量)之補水量，節水約略15%

其他

民生及公共用水

自來水+雨水

省水裝置使用率 100%

生物科技業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率

72%

製程用水：

50. 純水系統
50. 製程設備
50. 製程設備清洗
50. 全自動 CIP 清洗 (Cleaning In Place)閉合的回路中循環清洗、消毒。

自來水+純水系統排水回收(c1)

50. 純水系統排水回收(c1)：濃排水回收至純水系統前段使用，回收 4 CMD。

次要

冷卻水塔

自來水

50. 無節水措施(維護方式每月清洗1次，現勘狀態良好)
50. 冷卻水塔用途為製程設備(凍乾機)使用

蒸氣鍋爐

自來水

蒸氣冷凝水回軟水系統前端

其他

民生及公共用水

自來水

省水裝置使用率 87.8%