近年成效 | History

2022年

111 年度節水節能輔導技術資料-【節水措施】

 

積體電路業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率95.6%

製程用水：

  1. 純水系統
  2. 製程機台

自來水+純水系統排水回收(c1)+製程水處理回收利用(c3)
  1. 純水系統排水回收(c1)：UPW ROR to FWT tank，回收 1,624 CMD
  2. 純水系統排水回收(c2)：UPW DIR to RCW tank、UPW ROR to RCW tank 回收 1,325 CMD
  3. 製程水處理回收利用(c3)：UPW DIR to FWT tank 2nd UF Reject to FWT Tank，回收 10,097 CMD
  4. 製程水處理回收利用(c4)：Reclaim system Permeate to RCW tank、AOR system return to RCW tank，回收 6,561 CMD

次要

冷卻水塔

自來水+製程系統排水回收(c4)
  1. C/T濃排水回收利用(c6)：旁濾設備回收 77 CMD
  2. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：112.7 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：1,800(µS/cm)，濃縮倍數(CR)：15.9倍。

廢氣洗滌塔

製程系統排水回收(c4)
  1. L/S+C/S排水循環回收利用(c5)：LSR Permeate to Local Scrubber user point，回收 4,365 CMD。
  2. pH值控制

其他

民生及公共用水

自來水+雨水

省水裝置使用率 68%

 

光電業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率80.3%

製程用水：

  1. 純水系統
  2. 製程機台

自來水+純水系統排水回收(c1)
  1. 純水系統排水回收(c1)：純水ROR產水+UF排水回收+儀器排水回收+再生反洗水回收  723 CMD
  2. 純水系統排水回收(c2)：純水前段UF反洗水回收  750 CMD
  3. 製程水處理回收利用(c3)：高TOC，由MBR系統回收

次要

冷卻水塔

純水系統排水回收(c2)
  1. C/T濃排水回收利用(c6)：旁濾排水回收 18 CMD
  2. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：553 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：2,200(µS/cm)，濃縮倍數(CR)：3.97 倍。回收 129 CMD。

廢氣洗滌塔

純水系統排水回收(c2)
  1. pH值控制
  2. ORP(氧化還原電位)控制

其他

民生及公共用水

自來水+回收水(沖廁)

省水裝置使用率：NA。(節流裝置省水，無省水標章)

 

 

 

 

 

 

光電業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率56.7%

製程用水：

  1. 純水系統
  2. 製程機台

自來水+純水系統排水回收(c1)
  1. 純水系統排水回收(c1)：RO濃縮水供砂濾塔、活性碳塔、樹脂塔逆洗及再生廢水，導電度判定回收RO濃縮水回收 66 CMD
  2. 純水系統排水回收(c2)：砂濾塔、活性碳塔、樹脂塔逆洗及再生廢水，導電度判定回收RO濃縮水回收 24 CMD
  3. 製程水處理回收利用(c4)：製程廢水系統回收至次級用水 401 CMD

次要

冷卻水塔

自來水+OAC冷凝水(A1)+雨水(A2)+純水系統排水回收(c2)+製程系統排水回收(c4)
  1. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：<90 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：1,900 (µS/cm)，濃縮倍數(CR)：21 倍。循環回收 12 CMD。
  2. 散水盤護蓋遮蔽，減少日照損失及灰塵阻塞水盤，導致不必要的溢流情況。

廢氣洗滌塔

自來水+OAC冷凝水(A1)+雨水(A2)+純水系統排水回收(c2)+製程系統排水回收(c4)
  1. L/S+C/S排水循環回收利用(c5)：設置氨氮廢水處理設備，採氣提法及冷凝回收的設備處理流程，處理後回收水再迴流至廢氣回收設備重複使用取代大量洗滌耗水，循環回收 196 CMD。
  2. pH值控制

其他

民生及公共用水

自來水+雨水

省水裝置使用率 100%

 

通訊業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率

41%

製程用水：

  1. 純水系統
  2. 製程機台

自來水+純水系統排水回收(c1)
  1. 純水系統排水回收(c1)：UPW系統2B3T再生清洗水& MMF/ACF逆洗水 回收至製程水池做為原水回收 12 CMD
  2. 純水系統排水回收(c2)：UPW系統RO濃排水回收做為2B3T再生清洗水回收 9 CMD
  3. 製程水處理回收利用(c4)：配置機台QDR回收專管，清洗晶圓之去離子水進行回收，再透過水質選別功能，供給CT/民生沖廁使用。回收 35  CMD。

次要

冷卻水塔

自來水+純水系統排水回收(c2)+製程系統排水回收(c4)
  1. C/T濃排水回收利用(c6)：旁濾排水回收 6 CMD
  2. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：400 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：1,600(µS/cm)，濃縮倍數(CR)：4倍。回收 2 CMD。

廢氣洗滌塔

自來水+OAC冷凝水(A1)

pH值控制

其他

民生及公共用水

自來水+製程系統排水回收(c4)

省水裝置使用率 NA

 

 

積體電路業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率80.5%

製程用水：

  1. 純水系統
  2. 製程機台

自來水+純水系統排水回收(c1)+製程水處理回收利用(c3)
  1. 純水系統排水回收(c1)：DI 系統再生反洗水經過濾後再利用、樹酯更換 rinse 水再利用、RO 濃縮水部分回至工業水池利用，回收 2,074 CMD
  2. 純水系統排水回收(c2)：DI RO 濃縮水供應空調系統、洗滌塔與製程冷卻水等次級用水 770 CMD
  3. 製程水處理回收利用(c3)：DIR 50%系統處理後供應 DI 水回收、DIR 35% 回收處理系統供應 DIR 50%，回收 2,113 CMD
  4. 製程水處理回收利用(c4)：AWR製程端鹼性廢水、CuCMP製程含銅廢水，回收3,105 CMD

次要

冷卻水塔

自來水+製程系統排水回收(c4)
  1. C/T濃排水回收利用(c6)：旁濾設備回收+Q WATER RO 過濾再利用 58 CMD
  2. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：200 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：2,200(µS/cm)，濃縮倍數(CR)：11倍。回收 175 CMD。

廢氣洗滌塔

製程系統排水回收(c4)
  1. L/S+C/S排水循環回收利用(c5)：回收廢氣洗滌塔排放廢水循環利用，回收 6,816 CMD。
  2. pH值控制
  3. 縮減(定量)之補水量，節水約略15%

其他

民生及公共用水

自來水+雨水

省水裝置使用率 100%

 

生物科技業

用水單元

類別

使用水源

節水措施

主要

使用率

72%

製程用水：

  1. 純水系統
  2. 製程設備
  3. 製程設備清洗
  4. 全自動 CIP 清洗 (Cleaning In Place)閉合的回路中循環清洗、消毒。

自來水+純水系統排水回收(c1)
  1. 純水系統排水回收(c1)：濃排水回收至純水系統前段使用，回收 4 CMD。

次要

冷卻水塔

自來水
  1. 無節水措施(維護方式每月清洗1次，現勘狀態良好)
  2. 冷卻水塔用途為製程設備(凍乾機)使用

蒸氣鍋爐

自來水

蒸氣冷凝水回軟水系統前端

其他

民生及公共用水

自來水

省水裝置使用率 87.8%

 

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