近年成效 | History

2023年

112 年度節水節能輔導技術資料-【節水措施】

業別

用水單元

類別

使用水源

節水措施

積體電路

主要用水

製程用水：

  1. 純水系統
  2. 製程設備
  1. 自來水+純水系統排水回收(c1)+製程系統排水回收利用(c3)
  1. 純水系統排水回收利用(c1)：
    1. MAU AIR Washer to UPW
    2. ROR reclaim to UPW
  2. 純水系統排水回收利用(c2)：純水RO濃縮水回次級用水量(UPW ROR)
  3. 製程系統排水回收利用(c3)：DIR回收
  4. 製程系統排水回收利用(c4)：
    1. 研磨廢液回收至次級用水
    2. 酸鹼廢液回收至次級用水
    3. 鹼性廢液回收至次級用水

次級用水

冷卻水塔
  1. RCW、ICW回收水
  1. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：250 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：2,110 (µS/cm)，濃縮倍數(CR)：8.4倍。

洗滌塔
  1. 回收水
  1. L/S+C/S排水循環回收利用(c5)：ACF/RO回收Local scrubber drain進行再處理後回收為Local scrubber用水

業別

用水單元

類別

使用水源

節水措施

光電

主要用水

製程用水：

  1. 純水系統
  2. 製程設備
  1. 自來水+純水系統排水回收(c1)
  1. 純水系統排水回收利用(c1)：
    1. UPW系統設計RO濃排水回收至UPW前段
    1. ACF/MMF 反沖洗水過濾回收至製程用水
  2. 純水系統排水回收利用(c2)：2B3T再生清洗水回收至次級用水
  3. 製程系統排水回收利用(c4)：製程廢水回收至次級用水及冷卻水塔補水
  1. 機台循環串級利用水量(c7)：晶片清洗機溢流水回收再利用(製程機台循環水)

次級用水

冷卻水塔
  1. 自來水+純水系統排水回收(c2)+製程系統排水回收利用(c4)
  1. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：426 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：1,500 (µS/cm)，濃縮倍數(CR)：3.5倍。

業別

用水單元

類別

使用水源

節水措施

光電

主要用水

製程用水：

  1. 純水系統
  2. 製程設備
  1. 自來水+純水系統排水回收(c1)+製程水處理回收利用(c3)
  1. 純水系統排水回收(c1)：DIW系統設計RO/UF濃排水回收至DIW前段使用
  2. 純水系統排水回收(c2)：RO濃縮水回收到製程循環水和冷卻水塔
  3. 製程水處理回收利用(c3)：產線wash之排水回收至純水系統
  4. 製程水處理回收利用(c4)：產線wash之排水回收至次級用水
  5. 機台循環串級利用水量(c7)：經南科管理局節水輔導查核，核定c7製程機台用水循環再利用(MF 膜回收系統)

次級用水

冷卻水塔
  1. 純水系統排水回收(c2)+製程系統排水回收(c4)
  1. C/T濃排水回收利用(c6)：旁濾設備回收+Q WATER RO 過濾再利用 58 CMD
  2. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：100 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：1,200(µS/cm)，濃縮倍數(CR)：12倍。

業別

用水單元

類別

使用水源

節水措施

生物科技

主要用水

製程用水：

  1. 純水系統
  2. 製程設備
  1. 自來水
  1. 純水系統排水回收(c2)：純水系統排放之濃廢水至冷卻水塔利用
  2. 機台循環串級利用水量(c7)：桶槽清潔殺菌用廢水重複利用(製程清潔)

次級用水

冷卻水塔
  1. 自來水+雨水(A2)+純水系統排水回收(c2)
  1. C/T循環回收利用(c8)：補充水導電度：200 (µS/cm)，冷卻水塔排放水導電度控制：1,500 (µS/cm)，濃縮倍數(CR)：7.5倍。

蒸汽鍋爐
  1. 自來水+蒸汽鍋爐冷凝水
  1. 蒸汽鍋爐冷凝水回收再利用

業別

用水單元

類別

使用水源

節水措施

積體電路

主要用水

製程用水：

  1. 純水系統
  2. 製程設備
  1. 自來水+純水系統排水回收(c1)+製程系統排水回收利用(c3)
  1. 純水系統排水回收利用(c1)：
  1. 回收UF膜濃縮水至前段DI水池
  2. RO濃縮水至前段DI水池
  1. 純水系統排水回收利用(c2)：純水系統再生水回收至冷卻水塔使用(次級用水)
  2. 製程系統排水回收利用(c3)：
  1. 製程排水(DIR)經水質檢驗後，合格水再經活性碳及樹脂後回收至前處理水池再利用，不合格水則依條件設定排至RCW或廢水排放。
  2. 製程排水(HOR)，經臭氧UV燈後檢驗合格排至前處理水池，不合格則排至廢水。
  3. 超純水回水(FAB回水)
  1. 製程系統排水回收利用(c4)：鹼性廢水(Caustic waste drain, CWD)依水質特性導入回收系統處理

次級用水

冷卻水塔
  1. 自來水+純水系統排水回收(c2)+製程系統排水回收利用(c4)
  1. 廠內L/S排放廢水回收，水質經檢測，水質良好可二次利用
  2. 鹼性廢水(Caustic waste drain, CWD)依水質特性導入回收系統處理
  3. 酸性廢水(Acid wastewater drain, AWD)/鹼性廢水(Caustic waste drain, CWD)依水質特性導入回收系統處理

洗滌塔
  1. 回收水

鹼性廢水(Caustic waste drain, CWD)依水質特性導入回收系統處理
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