產業別

建議方案

執行成效

積體電路

1. CMP廢水處理後具10~20 CMD回收潛勢。
2. 低濃度含氟廢水(30~50ppm)處理後具100~200 CMD回收潛勢。

兩項目均受限水管及廠區空間，評估後未執行。

光電

1. 有雨水回收貯存系統但已經停用，建議予以收集並妥適利用。
2. 冷卻水排水導電度控制設定值可為2,000 μs/cm或1,800μs/cm，預計節省排水量或補水量約為3 CMD。

1. 雨水回收貯存系統有浮油產生，仍無法收集，評估後未執行。
2. 冰機容易有結垢產生，評估後未執行。

積體電路

1. 冷卻水塔與洗滌塔的回收設備尚未建置。建議可採旁通過濾系統或固液分離器結合磁化抑垢器。
2. 一期RO水封箱排水回收120噸/月。
3. MMF反洗次數減量，52噸/月。
4. 二期RO+UPW水封箱溢流水回收340噸/月。
5. 民生用水減壓供水(降低0.2Kg)，回收7噸/月。

1. 不執行。評估後回收年限太長，效益不大
2. 4 CMD
3. 1.7 CMD
4. 11.3 CMD
5. 0.2 CMD

光電

1. 氟廢水處理導入EDR技術，未來可增加600 CMD的節水量。
2. 無機廢水前處理後接續RO具回收300~600 CMD回收潛勢。

1. 執行中。氟廢水處理導入EDR技術，設備採購中，預計2026 H1工程完畢。預期回收600 CMD
2. 技術評估中，需克服無機鹽類結垢。

通訊

1. 規劃建置冷卻水塔EDR旁流處理技術，約可減少10%補水量，目前CT捕水量約180 CMD，預估節水潛量約 18 CMD。
2. 規劃設置ROR系統，將一段排水回收利用約15(Ton/h)*50%，約可回收7.5 (Ton/h)，約60CMD。
3. Local scrubber節水措施可導入物理處理水處理方式(i.e Zeta power system)，預估節水量可再節省4 CMD。

1. 評估後，因回收年限過高，暫緩執行。
2. ROR系統已建置，回收水量待統計。
3. 預計用ROR

合計 (CMD)

617.2

產業別

自主節水作法

預期成效

積體電路

既有回收水之濃水再回收(再進一次RO系統)(預計2025Q4進行)

200

光電

製程廢水進行回收

200

(評估中)

積體電路

50. MMF及ACF逆洗回收
50. 二期RO高低壓沖洗時間縮短(先利用排水閥開啟把沉澱物沖走，再進行沖洗)
50. UF膜更換前預洗設備(單次清洗一周)，先利用較乾淨回收水預洗設備。預計2025年9月測試

50. 35
50. 1.5
50. 0.4

光電

50. 評估無機廢水導入EDR(待氟廢水導入後，再評估)
50. 持續推動機台節水改善

評估中

通訊

50. 廠區用水管線盤點(本廠前身為綠能科技股份有限公司南科分公司，既有用水設施或管線仍需盤查釐清。)
50. 冷卻水塔散熱鰭片優化

評估中

合計(CMD)

236.9