近年成效 | History

2020年

109年度節水節能輔導技術資料

109年度受輔導廠商之節水改善建議作法：

產業別 改善類別 109年度訪廠節水潛力分析及建議 全廠節水潛量(CMD)
積體電路 製程端
  • 已有酸性廢水(Acid wastewater drain, AWD)處理技術與設備，據廠方表示因既有廠房空間不足，故仍有2,200 CMD未能回收利用。建議廠方可先行評估增設處理設備所需之容積量；亦或藉由公司內部交流探詢同類型廠房之作法。
  • 次級回收水(Reclaim water, RCW)於冬季有過剩的情況，可參考「關鍵”海淡技術”讓研磨廢水回收至製程使用」的作法，利用海水淡化先進二級薄膜處理技術(Advanced SWRO+BWRO technology)中之苦鹹水RO膜(Brackish Water RO; BWRO)技術應用於含銅化學研磨液廢水(Cu-CMP Reclaim System, CCR)回收至UPW FWT (Filter water tank)，達到將次級回收水提升至製程回收水，降低全廠自來水用量。
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冷卻端
  • 冷卻水塔排水約420 CMD，建議以超過濾膜(Ultra Filtration, UF)+逆滲透(Reverse osmosis, RO)較為經濟可行的雙膜法降低排水導電度(由3,300μS/cm 降為50μS/cm 以下)，回用至冷卻水塔補水端，預期可節省50%排放水量，節水潛量210 CMD。此一作法之操作成本約23.4(元/噸)，建造成本約14.2(元/噸)合計每噸處理成本37.6(元/噸)。對比營建署下水道工程處之數據資料，目前建設中的永康及安平再生水廠預估售水價分別為23.67(元/噸)及30.92(元/噸)，採用UF+RO的作法仍具成本效益。
其他
  • 雨水貯留設施進流端未設置計量水錶，供應端雖有計量水錶，但貯留設施混用自來水及冷凝水，雨水實際用量未確切量測。建議如果有混用其他水源，計量要分開，於適當位置裝設計量水錶，量測雨水進流量，列入R8用水平衡圖的欄位(雨水：A2)。
光電 管理端
  • 請明確編制用/節水權責人員(或跨單位成立節水小組定期開會滾動式查核用水相關數據掌握管理用水效率)。
  • 盤查用水單元設備及設置位置。
  • 確認管線及集水槽(各用水單元進流及排放去向)。
  • 裝設計量水錶彙集數據並紀錄。
  • 請廠方配合，依南科管理局最新修訂之R8版用水平衡圖，建立實際用水基線數據，取代原先向南科管理局申請之R7版水平衡圖，且製程回收率、全廠回收率及全廠排放率需達園區環評要求目標。
  • 依據科技部科學園區水電輔導管制辦法第 4 條園區用戶於用水計畫核定，應依計畫用水時程及用水量辦理，並應記錄實際用水情形(建立R8版用水平衡圖)，提供管理局彙整申報用水情形，相關紀錄及證明文件應保存五年備查，以利追蹤查核。
  • 除了自來水進流、納管廢水排放以及純水機房有計量水錶外；其他如鍋爐軟水/蒸汽循環冷凝水、冷卻水塔用水/排水、OAC以及雨水收集系統之進流，仍有部分水錶不足而無法計量，僅能以推測的方式提供用水量，應掌握前述進流點水量，以利建立明確的用水平衡圖。
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冷卻端
  • 既有冷卻水塔補水量(300 CMD自來水)佔全廠補水量六成左右，為主要耗水設備，可藉由改善擋水板角度，降低蒸發與飛濺損失進而減少補水量，若能降低7%補水量，則節水潛量約21 CMD。
  • 若未來採取冷卻水塔全面汰舊換新，建議請冷卻水塔製造商評估既有設備耗水量(或耗電量)，與預期改善後的耗水量(或耗電量)之差異，讓公司高層有比較之數據，以利推動節水節能工作。
其他
  • 廠房已使用10 ~ 20年左右，廠商已規劃裝設省水器材，降低民生用水使用量，請確切記錄用水量，比較更換前與更換後之水量差異。
  • 地下一樓筏基已具備冷卻水塔排水及空調冷凝水收集池，但未納管回收使用，建議評估此股水質與水量，未來可規劃納入處理回收目標。
生物科技 管理端
  • 請明確編制用/節水權責人員(或跨單位成立節水小組定期開會滾動式查核用水相關數據掌握管理用水效率)。
  • 盤查用水單元設備及設置位置。
  • 確認管線及集水槽(各用水單元進流及排放去向)。
  • 裝設計量水錶彙集數據並紀錄。
  • 請廠方配合，依南科管理局最新修訂之R8版用水平衡圖，建立實際用水基線數據，取代原先向南科管理局申請之R7版水平衡圖，且製程回收率、全廠回收率及全廠排放率需達園區環評要求目標。
  • 依據科技部科學園區水電輔導管制辦法第 4 條園區用戶於用水計畫核定，應依計畫用水時程及用水量辦理，並應記錄實際用水情形(建立R8版用水平衡圖)，提供管理局彙整申報用水情形，相關紀錄及證明文件應保存五年備查，以利追蹤查核。
 需作水質檢測與評估雨水收集效益故暫無節水潛量
其他
  • 依據「南部科學園區用水計畫書撰寫綱要」中「廠區內外供水設備之規劃廠區用水貯存槽設置計畫(含蓄水池容量，需≥終期用水兩天有效蓄水量)。松瑞(新廠)目前安全貯水量為220 CMD，核備用水量為225 CMD，但近期日平均自來水用量介於150 ~ 200 CMD，建議仍需提高安全貯水量，以符合規定。
  • 廠內尚未設置雨水回收系統，建議廠方先行評估廠房屋頂設置雨水收集管路，納入新廠的W6回收池及W8回收池聯合運用，增加雨水收集效益，提升未來全廠回收率。
  • 納管廢水經過MBR處理降低COD濃度，排放量約94 CMD，建議可檢測納管廢水中之水質成份，做次級回收水(Reclaim water, RCW)，供給冷卻水塔及洗滌塔補充水源，或向外探詢與其他廠商合作之可行性。
積體電路 管理端
  • 請明確編制用/節水權責人員(或跨單位成立節水小組定期開會滾動式查核用水相關數據掌握管理用水效率)。
  • 盤查用水單元設備及設置位置。
  • 確認管線及集水槽(各用水單元進流及排放去向)。
  • 裝設計量水錶彙集數據並紀錄。
  • 請廠方配合，依南科管理局最新修訂之R8版用水平衡圖，建立實際用水基線數據，取代原先向南科管理局申請之R7版水平衡圖，且製程回收率、全廠回收率及全廠排放率需達園區環評要求目標。
  • 依據科技部科學園區水電輔導管制辦法第 4 條園區用戶於用水計畫核定，應依計畫用水時程及用水量辦理，並應記錄實際用水情形(建立R8版用水平衡圖)，提供管理局彙整申報用水情形，相關紀錄及證明文件應保存五年備查，以利追蹤查核。
  • 用水平衡圖數值來自建廠時用水規劃的預估值(648 CMD)，非實際用量，廠內缺乏計量水錶，僅瞭解近三年用水量逐年升高。依用水計畫審核管理辦法，對核定計畫用水量採滾動式檢討，實際用水量若連續3年未達計畫核定用水量70%，且差異量達300 CMD以上，需提差異分析報告審查，且依審查結果調整用水計畫內容，請廠方留意並掌握用水資訊。
  
冷卻端
  • RO濃排回收做澆灌使用，現因環保法規問題已停止回用，建議可量測RO濃水水質，評估回收供給冷卻水塔補水之可行性。
其他
  • 廠方於二次訪談會議中提到，廠內無OAC回收。但所提供之用水平衡圖OAC(A1)有數值 29.6 CMD，請盤查是否有回收系統，並釐清數據來源。
  • 請以圖例舉證說明於用水平衡圖中(c5)及(c7)如何循環利用。
精密機械 製程端
  • 製程廢水有切削油混合液排水回收，以及酸鹼廢水(硝酸鈍化)前清洗排水至RO過濾回收，此部分回收利用水量，建議填入用水平衡圖(c3)及(c4)。製程機台端排水回收，不計量至純水系統的(c1)及(c2)，請廠方釐清數據。
  • 建議在主要用水及回收點加裝水錶計量，例如：純水系統取用水與供水端、製程切削油排水回收端、雨水收集池(為混水池有雨水、RO濃排水以及OAC冷凝水)、員工宿舍….等。掌握用水基線數據，進行省水管理改善與可行性評估。
  • 原用水平衡圖中(c5: 576 CMD)，此為廢氣洗滌塔內循環水量，廠方所增設之水箱功能為調整內循環水量之pH值，非洗滌塔廢水排放端廢水回收，建議刪除此數據。廢氣洗滌塔排放廢水端，需設置廢水回收設備，才能計量至用水平衡圖中的(c5)。用水平衡圖(c5)數值刪除後，全廠回收率由修正前的79.4%降為45.4%，未達高雄園區需大於85%的園區標準值。
 33.2
冷卻端
  • 廠內目前自來水用量有52.3%是使用於冷卻水塔(162 CMD)建議節水可由此處著手評估改善，例如：
     冷卻水塔需加強維護保養的次數。現場地面有清洗後的結垢厚碎片，推斷先前保養頻率不高，可評估加裝旁路過濾設備增加用水循環次數亦可降低結垢產生，預防水塔冷卻效率下降。
  • 冷卻水塔廢水排水量目前約50 CMD水量具有回收潛力，可評估以倒極式電透析(Electro dialysis reversal，EDR)、離子交換樹脂、超濾膜(Ultrafiltration, UF)/納濾(Nano filtration, NF)/RO逆滲透等…脫鹽設備。處理後回用至冷卻水塔做補充水源，部分取代自來水使用量，若前述回收水設備效率50%，則節水潛量約25 CMD。
其他
  • 廠內目前自來水用量有23.2%是使用於民生用水(75 CMD)建議節水可由此處著手評估改善，例如：
     清查廠區水龍頭出水量、衛浴設備是否選用經濟部水利署所認可之省水標章產品，適度更換適合的省水器材，目前每人每日消耗水量45.2公升(108平均員工人數為620人，扣除員工宿舍人數約80人後，以540人為基值計算)，若依據竹科管理局用水計畫書中之建議值民生用水量（一般以每人30公升計算），則民生用水節水潛量約8.2 CMD。
總計 264.2

109年度追蹤108年輔導廠商節水潛量執行情形：

產業別 建議方案 執行情形 執行成效
光電(1) 冷卻水塔風扇改為變頻，增加溫度控制，使濕球溫度與出水溫度差約為5℃ 冷卻水塔風扇已改變頻馬達運轉，由PLC設定溫度，自動變頻運轉。 初步統計節電量約1-2%；至於節水部份，可減少飛濺損失，但因為更換前，未裝水錶，而無法評估節水實際改善效果。(依照去年輔導時估計潛量為15 CMD)
光電(2) 冷卻水塔排放水回收 已於109年7月完成冷卻水塔排放水回收後導入Scrubber使用，投資約6萬元。 每天增加回收水量4公噸
冷卻水塔排水使用導電度控制 已於109年7月完成 已設置導電度即時連續偵測系統據以控制加藥，確保導電度1,500-2,000 μS/cm
積體電路(1) 增加製程用水回收 已完成 製程回收水，一天約回收ROR水110公噸，做為冷卻水塔用水。
冷卻循環用水增加旁濾設備 已完成  
積體電路(2) 洗滌塔排水導電度控制提升 未執行 F6 廠自 108.07開始逐步進行老舊純水回收桶槽龜裂翻新及回收水管路漏水維修汰換，施工期間影響水回收量，平均每日減少約180~220 CMD。
生物科技 加蒸汽回收設備 已於廠房地下室增加蒸汽回收設備 每天節水2公噸

109年度追蹤108年度受輔導節水廠商之自主節水作法：

產業別 自主節能作法 預期成效
積體電路(1)
  1. 因應旱季缺水，台積六廠進行自主節水，其作法包含：澆灌設施減壓或關閉、員工餐廳改用免洗餐具、水車補水演練、員工梯廳節水觀念宣導…等。
  2. 運轉達20年，目前廠區場地使用已趨飽和，故用水變化量趨於穩態，而後續台積廠區將導入永康再生水，可望有效降低自來水資源使用量。
 生活用水經宣導及執行後，員工2382人每人每天50公升，假設節水績效10%，每天約減少15 CMD。
積體電路(2)
  1. 已設置400公噸雨水貯槽、600公噸自來水貯槽、360-380公噸製程回收水池，另有90公噸廢水儲存槽。
  2. 製程回收水也使用於射出機冷卻水、公司車輛洗滌用水及消防用水等。
  
光電(1)
  1. 今年節水作法，已針對民生用水加裝省水器。
  2. 未來規劃提高製程用水回收率，目前只回收第二道及第三道洗晶片的水，第一道水仍未回收，石刻正評估其可行性。
  
光電(2) 目前已有一套CNC石刻回收水系統，每天可回收60-70公噸；正規劃再增加第二套CNC石刻水回收系統。 完成後每天可再增加60-70公噸回收水
總計 85公噸/日

109年度受輔導廠商之節能改善建議作法：

產業別 項次 改善作法 預期成效
積體電路(1) 1 建議增設不斷電系統。 改善電力品質對產線影響。
2 調整精進TA 2F循環空調箱(RCU)運轉頻率，探討最佳化操作條件。 108年節電量已達約19萬度，預期最佳化操作可達到約20萬度。
3 無塵室風扇過濾組(FFU)由AC Type更換為DC Type，探討最佳化控制方式。 TA棟及TB棟無塵室更換後，年節電量約207萬度。
4 電能平衡圖的其他用電量達9.47%，建議再細分或在重點要項裝設電錶，並分析用電狀況。 其他項目用電量達9.47%，若在重點要項裝設電錶並適度管控，假設可節電1%，每年可節電約82萬度。
合計 每年節電309萬度
積體電路(2) 1 無塵室照明在離峰時間
(20:30~07:00) 採自動控制，以及燈具自然淘汰或改用LED燈。		 節電量預估約2.7萬度。
2 自動控制對冰水區HVAC系統冰水出水溫度及水泵頻率最佳化操作條件。 未最佳化操作前，目前預估每年節電91.1萬度，若能找到最佳化控制或節電效益增加30%，則節電效益有120萬度的潛力。
3 電能平衡圖的其他用電量達11%，建議再細分或在重點要項裝設電錶，並分析用電狀況。 其他用電量達11%，增設電錶適度管控後，若可節電1%，以AP2B每年用電1.1億度，每年可節電110萬度。
合計 每年節電232.7萬度
積體電路(3) 1 T8照明改用LED 照明每年用電20萬度，目前照明74%為T8燈管、20%為LED，預估每年可節電14萬度。
2 無塵室冰水泵使用高效馬達2部 假設每部25 HP，每年可節電1萬度。
3 增設太陽光電系統 增設874.5 kW PV後，每年約可發105萬度綠電。
合計 每年節電15萬度、增加105萬度綠電
積體電路(4) 1 建置太陽能發電系統 預估設置110 kW PV系統，每年可產出12萬度綠電。
2 電熱退火最適化操作 利用分批進料避免超約罰款，且預估每年可節電50萬度。
3 冰水主機使用變頻 冰水主機為1100 RT，假設負載率50%、節電率25%、每年操作8,600小時，預估每年約可節電50萬度。
4 63 HP空壓機使用變頻馬達 63 HP空壓機約需50 kW，空壓機使用變頻馬達可節電50%左右，預估每年可節電22萬度。
合計 每年節電122萬度
增加12萬度綠電
通訊 1 電能平衡圖的其他項目，用電量接近20%，建議再細分或在重點要項裝設電錶，並分析用電狀況。 其他用電佔比約20%，建議增設電錶適度管控後，若可節電1%，每年可節電12萬度。
2 引進應用電梯電力回生系統 訪廠時發現電梯使用頻率相當高，載貨5噸 2台、3噸 1台、2.5噸 1台，載客1噸 3台。假設電梯使用率80%，預估每年可節電 8萬度。
3 增設照明自動開關 目前照明每年耗電116萬度，且休息區過於明亮，假設節電5%，預估每年約可節電6萬度。
合計 每年節電26萬度
光電 1 開發新菌種提高沼氣甲烷含量、提升沼氣發電機運轉時數 假設可增加發電機運轉時數20%，原設計每年可發112萬度電，每年可增加發電量24萬度。
2 熱回收冷卻水泵增設變頻器 年節電量約17萬度
3 CUB L30氣流調整排氣風扇節能
(CUB: Central Utility Building,中央公用廠房)		 預估每年可節電80萬度
4 T8照明改用LED 照明每年耗電396萬度，目前照明55.7%為T8燈管、44%為LED，若全部改用LED，預估每年可節電240萬度。
5 電能平衡圖的其他用電量達14%，建議在其他項目的重點設備裝設電錶，並分析用電狀況，以降低用電量。 其他用電量超過14%，增設電錶適度管控後，假設可節電1%，每年可節電116萬度。
合計 每年節電477萬度
總計 每年節電1,181.7萬度
增加117萬度綠電

109年度追蹤108年輔導廠商節能潛量執行情形：

產業別 建議方案 執行情形 執行成效
積體電路 汰換T8燈具為LED 執行中，自106年~迄今，採自然汰換方式  
新增5CH 冰機系統節能程式，依外氣負載自動計算出最佳運轉點位置，調整冰機出水溫度。 已執行  
CDA Dryer 再生時間延長(6HR→12HR) 已執行  
生物科技 購買270 HP變頻式空壓機 已執行 本案執行後，年節電量102,109度
通訊 冷卻水塔散熱改善
  1. 冷卻水塔散熱改善-更換散熱材
  2. 增建冰機400 RT水冷滿溢式螺旋機
  1. 降低冷卻溫度，提高冰機效能，節電效果仍在評估中。
  2. 降低舊型R-22冰機運轉，提高節能效能
冷卻水泵4、5號加裝變頻器 已執行 節電效果仍在評估中
製程冷卻水PCW07增加變頻器*3組
  1. 製程冷卻水PCW08 計2台加裝變頻器(新設備)
  2. 製程冷卻水PCW09 共計2台加裝變頻器(新設備)
  1. 加裝變頻器，以45HZ運轉，減低耗電量59,951度/年
  2. 加裝變頻器，以40HZ運轉，減低耗電量99,829度/年
混水泵加裝變頻器 已執行 節電效果仍在評估中
地下室照明及車道燈加裝定時器及自動點滅裝置 已執行 節電效果仍在評估中
精密機械(1) 廠區內節能燈具更換 舊有輕鋼架2尺*2尺，20W*4管燈具；更換為2尺*2尺，10W*4管LED燈具；共更換80組 節電效益845度/月，年節電量10,140度。
精密機械(2) 設備組立室更換LED燈管 40W4尺燈管汰換為LED 20W 4尺燈管 年節電量2,112度
1F成型一區照明節能改善 符合照度規定下，將複金屬燈500W汰換為LED天井燈80W。 年節電量225,351度
13S192組立機沖壓凸點站油壓改氣壓 已汰換油壓系統，改為氣壓系統。 年節電量4,058度
15T沖床節電改善 15T沖床馬達無節能省電裝置，當產品換線待機、休息時段未關閉電源，易造成能源浪費。
於沖床程式新增內部計時器，10分鐘未操作，自動切斷油壓風扇及馬達電源。		 年節電量138,375度
1F成型區送風扇節能改善 送風扇加裝計時器，設定休息時段自動停止運轉。 年節電量42,525度
塑膠區排風扇運轉時間控制 排風扇24小時運轉，修改控制線路，利用定時器和步進繼電器，控制排風扇，每3台每二小時交替運轉。 年節電量18,900度
總計 703,350度/年

109年度追蹤108年度受輔導節能廠商之自主節能作法：

產業別 自主節能作法 預期成效
精密機械(1) 八年前已設置499.6 kW太陽光電機組，正評估再加裝400 kW太陽光電機組中。 再加裝400 kW太陽光電，每年將可增加60萬度再生能源綠電。
機密機械(2) 在綠電方面，已規劃在目前動工興建中的二期擴建工程頂樓，建置約1999 kW太陽光電系統。 完成後可增加綠電每年250萬度
積體電路(1) 包括冰機ML (Machine Learning)正負兩度C節能專案、關閉CMP Ebara IPA chiller節能減碳、無塵室四分之一照明迴路加裝PLC燈控盤於夜間時段自動節能四分之一照明、MAU Pump透過濕膜板的應用等。 MAU Pump，透過濕膜板的應用，增加氣液接觸面積，改善水洗效率，降低循環水泵功率，有效節省運轉能源及費用，預估每年可節省用電量13,245,120度。
積體電路(2)
  • 已於109.07針對地下停車場照明進行改善，將580盞傳統36W傳統照明改為二段式LED (全亮20W、微亮3W)。
  • 自109.04起，冰水溫度分二階段由7度提高至9度。
  1. 每年預計可節電9,604度。
  2. 目前還在評估節電效果。
生物科技 已設置95.58 kW太陽光電系統 年發電量約122,800度，全部售予台電公司。
通訊 精密空調箱加裝變頻器(E-BEAM區) 空調箱加裝變頻器運轉，調整進風量，降低無塵室溫濕度變化，溫溼度精密控制於±1度，年節電6,017度。
總計 自發綠電量 3,222,800度/年
自主節電量 13,260,741度/年
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