近年成效 | History

2021年

110 年度節水節能輔導技術資料-【節水措施】

 

製程端-節水措施

項目

節水措施

節省水量(CMD)

1

純水系統回收水循環再利用

  1. UPW系統設計RO/UF濃排水回收至UPW前段使用
  2. MMF/ACF清洗水/反洗水回收至UPW前段桶槽

6,343

2

純水系統回收水供RCW再利用

  1. UPW系統RO濃排水及2B3T再生清洗水回收至RCW
  2. MAU Air washer blow-down廢水及冷凝水回收至RCW或ICW

1,112

3

DIR drain回收再利用

  1. 配置機台DIR 回收專管，將用來清洗晶圓之DI water進行回收，再透過水質選別功能，回收至純水系統再利用，或進入RCW供給CT/Central Scrubber使用

2,501

4

CMP/CuCMP ReclaimSystem

  1. 將機台CMP/CuCMP回收專管經由化混沉降處理，將處理後之水源導入回收系統作為RCW使用。

AWD/CWD Reclaim system

  1. 將機台AWD/CWD進行收集，依水質特性導入回收系統處理，產水流項可決定供RCW或LSS補充水源。

AOR Reclaim System

  1. 將機台高濃度COD AOR廢水進行生物處理後，經由ROA膜過濾後達到次級用水水質(RCW)

6,995

5

UF濃排水回收利用

1,459

6

ROR

  1. RO Reject產水1,146 CMD
  2. 用在2B3T再生，熱水供應及ROR TANK供給次級系統使用

1,146

7

DIR 50% 回收水

  1. 水質篩選確認，回收至前處理
  2. 供給純水系統製程用水再利用

2,232

8

DIR 35% 回收水

  1. 水質篩選確認，回收至前處理
  2. 提供給次級用水使用(LDI/ROR)及LSR再生用水，其餘水質不良排至廢水。

AWR(Acid Water reclaim)系統原水篩選，回收效率70%，可供應LSR/CT用水

CMP/CuCMP原水篩選，回收效率60%，可供應CT補充用水

晶背研磨 (Back grinding, BG)回收至純水系統

826

9
  1. 活性碳塔（Activated carbon filter，ACF）逆洗操作排水回純水系統
  2. 砂濾塔（Muulti Media Filter，ACF）逆洗操作排水回純水系統
  3. RO Reject To UPW

2,817

10
  1. Org.Reclaim System回收至純水系統
  2. In-Org.Reclaim System回收至純水系統

11,253

11
  1. Org.Reclaim System回收至純水系統

3,763

12
  1. 經環保稽查大隊查核，重新檢討全廠C7回收水量，核定C7機台循環水量。

22,778

13
  1. Array廠機台供水參數最佳化調整
  2. 有機濃排廢水再回收RROR
  3. 有機廢水UF模效率提升改善

100

 

 

冷卻水塔或廢氣洗滌塔-節水措施

項目

節水措施

1
  1. 冷卻水塔排放水以導電度控制2,800 (µS/cm)，濃縮倍數(CR) 5.7。
  2. 冷卻水塔內循環水旁流採砂濾處理，回收利用122.26 CMD

2

Local Scrubber Reclaim System 回收水量13,664 CMD

  1. 廠內LSC排放水回收至回收系統，進行循環水供應LSC，再自循到回收系統，重複循環處理
  2. 另導入TMAH產水、AWD(O3)、HFD增加製程回收率，多餘水量可供給RCW使用及系統單元ACF反洗

3
  1. 冷卻水塔排放水以導電度控制1,642 (µS/cm)，濃縮倍數(CR) 11.9。
  2. C/T製程水循環回收利用124 CMD
  3. 冷卻水塔內循環水旁流採砂濾處理，回收利用35.5 CMD

4

LSR排水循環回收5,496 CMD

5

冷卻水塔建置Q-Water快速淨水設備，每日節水量68 CMD。

6
  1. 冷卻水塔排放水以導電度控制3,000 (µS/cm)，濃縮倍數(CR) 8.5。
  2. C/T製程水循環回收利用688 CMD
  3. 冷卻水塔內循環水旁流採砂濾處理，回收利用72.16 CMD。

Cooling Tower 循環水設置砂濾塔過率單元

 

 

其他-節水措施

項目

節水措施

1

設置雨水貯留設施

  1. 雨水回收箱832 立方公尺
  2. 建物筏基雨水回收池10,677立方公尺

2

MAU冷凝水回收+雨水回收池，回收利用212 CMD

3

因應旱季延長UPW MMF/UPW ACF/LSR ACF/LSR MMF/UPW 2B3T/CMP ACF/ CMP SC/CMP UF service time

4

純水機廢水透過加壓水泵及管路輸送提供沖廁使用，回收量3 CMD

 

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