業別

節能措施

節電潛力

(萬度/年)

積體電路

1. Chiller 冰水系統最佳化節能(AI)。Chiller冰機正負2^oC節能，藉由冰水主機出水溫設定自動調節，使用電效率達最佳化( 3,191,700度/年)。

2. LSC 備機 cold run(備機需降溫)。(3,400,000度/年)

3. MAU H2S濾網移除節能。(1,088,430度/年)

768

光電

1. T8燈管更換LED燈管。(616,614度/年)

2. ARRAY4 CVD PCLN UPW節水計畫，將RB(Roller Brush)段抽水馬達輸出至Tank回水加大，降低上下RB段排水量，達到節水的目的。(3,004.667度/年)

3. ABVL一般排氣減量，藉由減量一方面不影響設備的作動及良率，且同時達到節能50%的目標。 (13,899.417度/年)

4. CF4 IRUV 節能減量，分開不同產品別且利用Recipe 控管溫度,使得RUN一般產品與AAS產品時溫度不同IRUV RUN AAS產品時進行節能。(556.417度/年)

5. AIR SHOWER 快速門增加自動關門控制。(36,419.583度/年)

6. 燈箱為冷陰極管，更換為LED B/L。(607,525度/年)

7. CF NSK ORION CHILLER變頻 chiller 導入更換為SMC chiller為變頻chiller。(1,617,525度/年)

8. 曝光機增設排氣回收，可降低工廠運作耗能。(220,786.5度/年)

9. MBR膜槽升級為Leap型曝氣套件，減少需求風量及能耗。(58,261.5度/年)

10. CF OVEN Autodamper 節能專案。(308,556.267度/年)

11. 純水系統 VDG 水封泵汰換為節能型，減少能耗。(42,924度/年)

12. CF NIKON&CANON曝光機排氣回收系統新增。(217,314.292度/年)

13. CF IR CHAMBER改為一般CV。(1,345,974度/年)

509

光電

1. 定頻式空壓機汰換為變頻式空壓機-高耗能空壓機汰換(1台)。(158,666.667度/年)

2. 冷卻水塔風扇輕量化-水塔原為鋁製葉片,改成輕量化FRP葉片(3台)。(10,052.1度/年)

3. RCU循環空調箱增設變頻器調節循環風量(15台)。(644,962.5度/年)

81

精密機械

1. 公用排氣扇裝設定時器，控制運轉時間。(17,244.75度/年)

2. 冷卻水塔更新散熱材。(19,753.75度/年)

3. 空調冰水泵加裝變頻控制器。(71,880.75度/年)

10

精密機械

1. 三台冰機運轉配合與調整。(207,740度/年)

2. 減少冰水送風機數量。(65,664度/年)

27

光電

1. 既有高耗電HID高天井燈及部份T5燈具改用LED燈具。(44,400度/年)

2. KT1及KT2無塵室空調冰水系統Pump設置變頻器，以PLC系統自動調整控制節能。(229,165度/年)

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